一、仪器介绍
反射式硅片检测显微镜CGM-300E主要用于太阳能电池硅片的观察。CGM-300E可生成高清晰的图像，立体感较强、成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离、较大的视场范围和相应的放大倍数，配有高像素的数码摄像头可以很清楚地看到硅片的“金字塔”的微观形貌分布情况及硅片的缺陷分析服务，是太阳能电池硅片的普遍仪器。
二、技术参数
1. 目 镜
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类型
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放大倍数
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视场(mm)
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大视野目镜
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10X
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Φ16
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2. 物 镜
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类 别
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放大倍数
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数值孔径(NA)
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工作距离(mm)
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平场消色差
物镜（无盖玻片）
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5X
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0.12
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18.3
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10X
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0.25
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8.9
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40X
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0.60
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3.7
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60X
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0.85
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0.26
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3.光学放大倍数：50X 100X 400X 600X
系统参考放大倍数：50X-4000X
4.载物台：尺寸 185mm*140mm 移动范围 75mm*50mm
5.调焦系统：带限位和调节松紧装置的同轴粗微动 微动格值 0.002mm
6.滤色片组：转盘式，黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
7.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
8.照明系统：6V/20W卤素灯，亮度可调；220V（50Hz）
9.防霉：特有的防霉系统
10.成像系统：高像素CMOS摄像头
三、系统组成
电脑型硅片检测显微镜(CGM-300E)：1、硅片检测显微镜 2、专用适配镜 3、高像素成像系统 4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(CGM-300E)：50--2600倍
五、选购件
1、二维测量软件HF-2000C
2、目镜： 20X 10X(带刻度)
3、物镜：20X 80X
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