一、仪器介绍
明暗场硅片检测显微镜CGM-600E是针对太阳能电池硅片显微观察的特殊要求，由沪杏光学与卡尔思鲁厄大学共同研发和设计的一款高性能硅片检测显微镜。
二、技术参数
1.目镜
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类 别
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放大倍数
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视场(mm)
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大视野目镜
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10X
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φ20
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2.物镜
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类 型
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放大倍数
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数值孔径NA
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工作距离（mm）
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长工作距离
平场消色差物镜
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5X(明场)
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0.12
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18.3
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10X(明暗场)
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0.25
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8.9
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20X(明暗场)
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0.40
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8.7
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40X(明暗场)
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0.60
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3.7
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80X(明场)
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0.80
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0.96
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3.光学放大倍数：50X -- 800X 系统参考放大倍数：50X-5000X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：二层机械移动式(配有快速移动装置)
尺寸：210mmX140mm，移动范围：75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调
9.特有的防霉系统
10.成像系统:高像素的数字摄像头
三、系统组成
研究型硅片检测显微镜(CGM-600E):
1.硅片检测显微镜 2.专用适配镜 3.高像素成像系统 4.计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(CGM-600E)：50--4000倍（17寸显示器为例）
五、选购件
1.二维测量软件
2.目镜： 20X 10X(带刻度)
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